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      1. EN
        產品名稱:XYZ直線電機滑臺
        產品概要:
        -- 直線軸XYZ納米級定位精度;
        -- 精密交叉滾柱導軌。
        -- 主體鋁合金材質
        產品精度:
        -- XY軸重復精度±100nm
        -- Z軸重復精度±200nm
        產品名稱:XYθ平臺
        產品概要:
        -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺;
        -- 小行程精密運動場合;
        產品精度:
        -- XY軸重復精度±0.5μm
        -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
        產品名稱:耦合平臺
        產品概要:
        -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺;
        -- 適用光纖耦合;
        產品精度:
        -- XYZ軸重復精度0.3μm
        -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec
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